[发明专利]用于封闭CVD反应器的内壳的装载开口的封闭元件在审
| 申请号： | 201880077822.6 | 申请日： | 2018-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN111417458A | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | M.科尔伯格;F.鲁达伊威特;M.普菲斯特雷尔 | 申请（专利权）人： | 艾克斯特朗欧洲公司 |
| 主分类号： | B01J3/03 | 分类号： | B01J3/03;C23C16/44;H01L21/67;F16K51/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 李萌 |
| 地址： | 德国黑*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种CVD反应器，其具有气密且能抽成真空的反应器壳体(1)和布置在所述反应器壳体(1)中的内壳(2)，所述内壳具有用于输送过程气体的器件(3、4)和用于固持在所述内壳中借助于过程气体待处理的基材(6)的器件(5)，其中，所述内壳(2)具有能被封闭元件(10)的密封元件(11)封闭的装载开口(7)，并且所述密封元件(11)在其封闭位置中以周围的密封区(10')贴靠在在内壳(2)的外侧上围绕装载开口(7)的配对密封区(7')上，其中，所述密封元件(11)围绕至少一条空间轴线(X、Y、Z)倾斜度可调地和/或可枢转运动地和/或沿空间轴线(X、Y、Z)之一可弹性偏离地固定在支架上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 封闭 cvd 反应器 装载 开口 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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