[发明专利]三氯硅烷的制造方法及三氯硅烷的制造装置有效
| 申请号： | 201880074820.1 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN111372892B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 弘田贤次;荻原克弥 | 申请（专利权）人： | 株式会社德山 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;F16K1/24;F16K31/44;F16K5/06;F16K5/20 |
| 代理公司： | 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 | 代理人： | 刘金峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的制造方法为一种三氯硅烷的制造方法，使用具有设置为能相对于阀座而以非接触的状态来旋转的阀体的无滑动阀(b1～b4)，在三氯硅烷的制造系统中对金属硅粉体所流通的导入流路(f1)、导出流路(f2)、排出流路(f31)及排出流路(f32)进行开闭。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 制造 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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