[发明专利]用于生产基板的方法在审
申请号: | 201880073200.6 | 申请日: | 2018-11-23 |
公开(公告)号: | CN111344635A | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 李浚行;李渊槿;金正斗;徐汉珉;宋哲沃;裴南锡 | 申请(专利权)人: | 株式会社LG化学 |
主分类号: | G03F7/11 | 分类号: | G03F7/11;G03F7/16;G03F1/60 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 赵丹;尚光远 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本申请涉及用于生产基板的方法。本申请的用于生产基板的方法可以均匀地形成具有根据期望的单元间隙的高度的间隔物,并且还可以自由地控制所述间隔物的高度。 | ||
搜索关键词: | 用于 生产 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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