[发明专利]热敏电阻元件及其制造方法

摘要

本发明提供一种热敏电阻元件及其制造方法，所述热敏电阻元件能够实现包含RuO2的导电性中间层的低电阻化及薄膜化，并且能够抑制伴随电极的剥离的电阻值的增加。本发明所涉及的热敏电阻元件具备：热敏电阻基体(2)，由热敏电阻材料形成；导电性中间层(4)，形成于热敏电阻基体上；及电极层(5)，形成于导电性中间层上，导电性中间层具有基于相互电接触的RuO2颗粒形成的凝聚结构，SiO2介入于所述凝聚结构的间隙中，导电性中间层的厚度为100nm～1000nm。