[发明专利]微机械微镜组件和相应的运行方法有效
| 申请号： | 201880067776.1 | 申请日： | 2018-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN111226155B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | J·穆霍;H·格鲁茨埃克;T·沙里;P·考普曼 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B3/00;G02B26/10;G01S7/481 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械微镜组件和相应的运行方法。微机械微镜组件配备有：框架(1)，该框架具有凹槽(AS)；在框架(1)上在凹槽(AS)的区域中悬挂在第一平面(x，y)中的微镜装置(10)；悬挂在框架(1)上的、伸入到凹槽(AS)的区域中的第一枢转翼装置(2a)，该第一枢转翼装置通过第一弹簧装置(4a)耦合在微镜装置(10)上；悬挂在框架(1)上的、伸入到凹槽(AS)的区域中的第二枢转翼装置(3a)，该第二枢转翼装置通过第二弹簧装置(4b)耦合在微镜装置(10)上；用于使第一枢转翼装置(3a)沿着垂直于第一平面(x，y)布置的第一轴(z)偏移的第一驱动装置(81a)；和用于使第二枢转翼装置(3b)沿着第一轴(z)反相偏移的第二驱动装置(82a)。微镜装置(10)能够通过第一枢转翼装置(2a)和第二枢转翼装置(3a)的反相偏移围绕第二轴(x)从第一平面(x，y)中弹性地旋转出来。第一枢转翼装置(2a)和第二枢转翼装置(3a)构型为，使得它们在微镜装置(10)的第一侧上沿着基本上垂直于第二轴(x)布置的第三轴(y)的方向延伸超过第二轴(x)。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 械微镜 组件 相应 运行 方法 | ||
【主权项】：
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