[发明专利]微机械微镜组件和相应的运行方法

权利要求书

1.微机械微镜组件，该微机械微镜组件具有：

框架(1)，该框架具有凹槽(AS；AS’；AS”；AS’”)；

在所述框架(1)上在所述凹槽(AS；AS’；AS”；AS’”)的区域中悬挂在第一平面(x，y)中的微镜装置(10)；

悬挂在所述框架(1)上的、伸入到所述凹槽(AS；AS’；AS”；AS’”)的区域中的第一枢转翼装置(2a；201；201’；350a)，该第一枢转翼装置通过第一弹簧装置(4a；4a’；40a、40b)耦合在所述微镜装置(10)上；

悬挂在所述框架(1)上的、伸入到所述凹槽(AS；AS’；AS”；AS’”)的区域中的第二枢转翼装置(3a；301；301’；350b)，该第二枢转翼装置通过第二弹簧装置(4b；4b’；50a、50b)耦合在所述微镜装置(10)上；

用于使所述第一枢转翼装置(2a；201；201‘；350a)沿着垂直于所述第一平面(x，y)布置的第一轴(z)偏移的第一驱动装置(81a；81a’；81a“；351a)；和

用于使所述第二枢转翼装置(3a；301；301’；350b)沿着所述第一轴(z)反相偏移的第二驱动装置(82a；82a’；82a”；351b)；

其中，所述微镜装置(10)能够通过所述第一枢转翼装置(2a；201；201’；350a)和所述第二枢转翼装置(3a；301；301’；350b)的相对彼此的反相偏移围绕第二轴(x)从所述第一平面(x，y)中弹性地旋转出来；并且，

其中，所述第一枢转翼装置(2a；201；201’)和所述第二枢转翼装置(3a；301；301’)构型为，使得它们在所述微镜装置(10)的第一侧上沿着基本上垂直于所述第二轴(x)布置的第三轴(y)的方向延伸超过所述第二轴(x)，

其中，所述第一枢转翼装置(201；201’)在所述框架(1)的第一区域(100’；100”)中悬挂在所述第一平面(x，y)中，沿着所述第二轴(x)和所述第三轴(y)的方向成角度地延伸，沿着所述第三轴(y)的方向延伸超过所述第二轴(x)并且在所述第一枢转翼装置的端部上通过所述第一弹簧装置(4a’)与所述微镜装置(10)的第一突出部(70a)连接，并且所述第二枢转翼装置(301；301’)在所述框架(1)的相对于所述第一区域(100’；100”)在侧面错开的第二区域(101’；101”)中悬挂在所述第一平面(x，y)中，沿着所述第二轴(x)和所述第三轴(y)的方向成角度地延伸，沿着所述第三轴(y)的方向延伸超过所述第二轴(x)并且在所述第二枢转翼装置的端部上通过所述第二弹簧装置(4b’)与所述微镜装置(10)的第二突出部(60a)连接，其中，所述第一突出部(70a)和所述第二突出部(60a)在相同的方向上沿着所述第三轴(y)相对于所述第二轴(x)错开，并且，其中，所述微镜装置(10)在与所述第一侧相对置的第二侧上通过扭转梁(250)悬挂在所述框架(1)上，

其中，所述第一突出部(70a)直线地走向并且所述第二突出部(60a)弯折地走向。

2.根据权利要求1所述的微机械微镜组件，其中，用于使所述第一枢转翼装置(201’)围绕所述第二轴(x)在所述第一区域(100”)中扭转的第一扭转装置(710)在所述框架(1)的所述第一区域(100”)和所述第一枢转翼装置(201’)之间悬挂在所述第一平面(x，y)中，并且用于使所述第二枢转翼装置(301’)围绕所述第二轴(x)在所述第二区域(101”)中扭转的第二扭转装置(720)在所述框架(1)的所述第二区域(101”)和所述第一枢转翼装置(201’)之间悬挂在所述第一平面(x，y)中。

3.根据权利要求1或2所述的微机械微镜组件，其中，所述第一驱动装置(81a；81a’；81a”)和/或所述第二驱动装置(82a；82a’；82a”)具有压电驱动装置，其中，压电的导体轨装置施加在所述第一枢转翼装置(2a；201；201’)或所述第二枢转翼装置(3a；301；301’)上。

4.根据权利要求1或2所述的微机械微镜组件，其中，所述第一驱动装置(351a)和/或所述第二驱动装置(351b)具有电磁驱动装置，该电磁驱动装置具有外部的磁场产生装置(B)和线圈装置，其中，所述线圈装置施加在所述第一枢转翼装置(350a)或所述第二枢转翼装置(350b)和所述框架上。