[发明专利]复制的改进以及相关方法和装置，特别是用于最小化不对称形式误差有效
| 申请号： | 201880067747.5 | 申请日： | 2018-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111246989B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 余启川;伍寒妮;托比亚斯·桑;约翰·A·维达隆;拉蒙·奥珀达;阿蒂利奥·费拉里;哈穆特·鲁德曼;马丁·舒伯特 | 申请（专利权）人： | 赫普塔冈微光有限公司 |
| 主分类号： | B29C59/02 | 分类号： | B29C59/02;G03F7/00;B29C39/26;B29D11/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 张燕;王珍仙 |
| 地址： | 新加坡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本方法涉及通过复制制造装置，其中装置中的每一个包括装置表面。该方法包括使用复制工具(1)通过复制由复制材料生产装置，其中复制工具(1)包括工具材料，工具材料包括复制位点(4)，复制位点(4)各自包括复制表面(5)。复制表面(5)中的每一个对应于装置的各自一个的装置表面的负片。除了复制位点之外，工具材料包括一个或多个缓解特征(7)，用于减少装置表面的不对称形式误差。还描述了用于制造这些的复制工具(1)和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 复制 改进 以及 相关 方法 装置 特别是 用于 最小化 不对称 形式 误差 | ||
【主权项】：
暂无信息
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