[发明专利]检测透明/半透明材料缺陷的方法、装置及系统在审
| 申请号： | 201880067020.7 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN111213029A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 王星泽;闫静;舒远 | 申请（专利权）人： | 合刃科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区粤海街*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种检测透明/半透明材料缺陷的方法，包括：根据预设的采样配置确定一个或一个以上的采样点位置；控制相干光光源(10)生成相干光光束照射采样点，所述相干光光束在检测时照射层状检材的采样点位置；通过感光元件(30)采集所述相干光光束照射检材后反射的光信号的干涉图像信息；根据所述干涉图像信息计算所述采样点位置对应的材料厚度信息，根据材料厚度信息确定所述层状检材的缺陷。此外，还公开了一种利用上述方法检测透明/半透明材料缺陷的装置和一种利用上述方法检测透明/半透明材料缺陷的检测系统。可提高透明/半透明层状材料厚度缺陷检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 透明 半透明 材料 缺陷 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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