[发明专利]面向特定检查的辅助系统、面向特定检查的辅助方法和程序在审
| 申请号： | 201880063448.4 | 申请日： | 2018-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN111148989A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 多田信资;田中成弥;野口稔;大南祐介;后藤摩耶 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01N23/2252 | 分类号： | G01N23/2252;G06N99/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 范胜杰;文志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提高使用电子显微镜的特定检查的精度，提高作业效率。系统根据检查试样的属性信息确定与检查对象物对应的检查配方信息，通过按照该检查配方信息的控制程序由测量装置取得的图像数据以及元素分析数据与成为检查对象物的评价基准的基准图像数据以及基准元素分析数据的对照，进行检查试样的检查对象物的分析评价。 | ||
| 搜索关键词： | 面向 特定 检查 辅助 系统 方法 程序 | ||
【主权项】：
暂无信息
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