[发明专利]肖特基势垒二极管有效
申请号: | 201880058896.5 | 申请日: | 2018-08-30 |
公开(公告)号: | CN111095570B | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
发明(设计)人: | 有马润;平林润;藤田实;川崎克己;井之口大辅 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | H01L29/872 | 分类号: | H01L29/872;H01L21/28;H01L29/06;H01L29/47 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;黄浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种肖特基势垒二极管,其难以产生因电场集中而引起的绝缘破坏。该肖特基势垒二极管具备:由氧化镓构成的半导体基板(20);设置于半导体基板(20)上的由氧化镓构成的漂移层(30);与漂移层(30)肖特基接触的阳极电极(40);以及与半导体基板(20)欧姆接触的阴极电极(50)。漂移层(30)具有在俯视时设置于包围阳极电极(40)的位置的外周沟道(10)。如此,当在漂移层(30)设置外周沟道(10)时,电场因外周沟道(10)的存在而被分散。由此,由于缓和了阳极电极(40)的角部中的电场集中,因此难以产生绝缘破坏。 | ||
搜索关键词: | 肖特基势垒二极管 | ||
【主权项】:
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