[发明专利]检查方法以及检查系统在审

专利信息
申请号: 201880056800.1 申请日: 2018-09-05
公开(公告)号: CN111065913A 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 日高佳久;松野玄;竹泽茂;田中秀子;佐久间香织;村田明弘;大原寿树 申请(专利权)人: 横河电机株式会社
主分类号: G01N21/359 分类号: G01N21/359;G01N21/3504;G01N21/3577
代理公司: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 代理人: 李成必;李雪春
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种分析装置的检查方法,所述分析装置使用通过探针的光进行分析,所述探针安装于管道使光路的一部分通过壳体的外部且配置在作为分析对象的第1流体流过的所述管道的内部,所述分析装置的检查方法具有:第1过程,在将所述光的吸收少于所述第1流体的第2流体导入到所述管道的状态下,将吸收特性已知的第3流体导入到所述探针的壳体的内部;以及第2过程,使用通过所述探针的光进行所述第3流体的吸收特性的分析。
搜索关键词: 检查 方法 以及 系统
【主权项】:
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