[发明专利]阻气膜有效
申请号: | 201880055572.6 | 申请日: | 2018-08-23 |
公开(公告)号: | CN111065514B | 公开(公告)日: | 2022-01-25 |
发明(设计)人: | 望月佳彦 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | B32B9/00 | 分类号: | B32B9/00;C23C16/42 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 薛海蛟 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种耐弯曲性、透明性及生产率等优异,而且,还具有充分的阻气性及耐高温高湿性的阻气膜。阻气膜具有至少1组含有氮化硅且厚度为2~15nm的无机层和含有无机层的成分及成为无机层的形成面的层的成分且厚度为2~25nm的混合层的组合,无机层的N/Si原子比为0.7~0.97。 | ||
搜索关键词: | 阻气膜 | ||
【主权项】:
暂无信息
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