[发明专利]用于光波导制造的方法有效
| 申请号： | 201880054234.0 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN110998388B | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | B·W·斯维顿斯基;苏凯;M·G·海尔;W·K·韦德纳 | 申请（专利权）人： | 陶氏环球技术有限责任公司;美国陶氏有机硅公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B1/04;G03F7/038;G02B6/138 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张佳鑫;王颖 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于通过以下步骤生产光波导的方法：(a)沉积第一组合物：(i)包含环氧基和烯基的折射率不大于1.50的聚硅氧烷，(ii)包含至少一个环氧基并且折射率不大于1.49的化合物，和(iii)具有至少1.50的折射率的聚硅氧烷；(iv)光酸产生剂；(v)氢化硅烷化催化剂，(vi)氢化硅烷化抑制剂；(b)通过暴露于紫外光来固化；(c)去除未固化部分以生产图案化芯层；(d)在20至300小时的时间之后，沉积包含以下的第二组合物：(i)包含环氧基的折射率不大于1.49的聚硅氧烷，和(ii)包含至少两个环氧基的折射率不大于1.49的化合物，和具有不超过1.45的折射率的醇，(iii)至少一种光酸产生剂。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 波导 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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