[发明专利]压电器件以及压电器件的制造方法在审
| 申请号： | 201880052416.4 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN111033774A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 池内伸介;木村哲也;藤本克己;岸本谕卓;黑川文弥;岸勇藏 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/053;H01L41/09;H01L41/319;H03H3/02;H03H9/17 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 韩聪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压电器件具备：压电体(10)，至少一部分能够进行弯曲振动；上部电极(22)，配置在压电体(10)的上表面上，其中，该上部电极越远离压电体(10)的上表面，晶格的应变越被缓和；下部电极(21)，配置在压电体(10)的下表面上，其中，该下部电极越远离压电体(10)的下表面，晶格的应变越被缓和；以及支承基板(40)，配置在压电体(10)的下方，设置有从支承基板(40)的下表面朝向压电体(10)的下表面上的凹部(141)。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 器件 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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