[发明专利]用于用压力加载应力产生层以改进地引导分离裂纹的设备和方法有效
| 申请号： | 201880052283.0 | 申请日： | 2018-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN111032269B | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 马尔科·斯沃博达;拉尔夫·里斯克;克里斯蒂安·拜尔;扬·黎克特 | 申请（专利权）人： | 西尔特克特拉有限责任公司 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K26/53;B23K26/0622;B28D5/00;B23K26/70;B23K26/14;B23K26/146;H01L21/304;H01L21/78;B23K103/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王逸君;周涛 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于将至少一个固体子层(1)、尤其固体片从供体衬底(2)分离的方法。根据本发明的方法在此优选地至少包括如下步骤：提供供体衬底(2)；在供体衬底(2)的对供体衬底(2)轴向限界的、尤其平坦的表面(5)处产生或设置应力产生层(4)；将压力加载装置(8)的至少一个压力加载元件(6)压紧到应力产生层(4)的至少一个预先确定的部分上，以将应力产生层(4)压紧到表面(5)上；将固体子层(1)从供体衬底(2)通过热加载应力产生层(4)分离，由此在供体衬底(2)中产生机械应力，其中通过机械应力产生用于分离固体子层(1)的裂纹，其中将压力加载元件(6)在热加载应力产生层(4)期间压紧到应力产生层(4)处。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 压力 加载 应力 产生 改进 引导 分离 裂纹 设备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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