[发明专利]用于用压力加载应力产生层以改进地引导分离裂纹的设备和方法

权利要求书

1.一种用于将至少一个固体子层(1)从供体衬底(2)分离的方法，

所述方法至少包括如下步骤：

提供所述供体衬底(2)，

在所述供体衬底(2)的对所述供体衬底(2)轴向限界的表面(5)处产生或设置应力产生层(4)，

将压力加载装置(8)的至少一个压力加载元件(6)压紧到所述应力产生层(4)的至少一个预先确定的部分处，以将所述应力产生层(4)压紧到所述表面(5)上，

通过热加载所述应力产生层(4)将所述固体子层(1)从所述供体衬底(2)分离，由此在所述供体衬底(2)中产生机械应力，其中通过所述机械应力产生用于分离固体子层(1)的裂纹，

其中将所述压力加载元件(6)在热加载所述应力产生层(4)期间压紧到所述应力产生层(4)上。

2.根据权利要求1所述的方法，

其特征在于，

所述压力加载元件(6)将压力施加到所述应力产生层(4)上，所述压力为至少10N。

3.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

在压力加载期间所述压力加载元件(6)面状地与所述应力产生层(4)接触。

4.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

所述至少一个压力加载元件(6)在边缘区域中产生压力，和/或所述至少一个压力加载元件(6)在中央区域中产生压力，或者所述至少一个压力加载元件(6)在所述供体衬底(2)的所述表面的全部平坦部分之上产生压力，在所述表面上设置有所述应力产生层(4)。

5.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

所述压力加载元件(6)可运动地设置并且由于所述应力产生层(4)的热加载而从所述应力产生层(4)相对于所述供体衬底(2)偏转，或者

所述供体衬底(2)可运动地设置并且由于所述应力产生层(4)的热加载而从所述应力产生层(4)相对于所述压力加载元件(6)偏转。

6.根据权利要求5所述的方法，

其特征在于，

在超过预先限定的最小力时才进行所述压力加载元件(6)的偏转。

7.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

设有多个压力加载元件(6a，6b，6c)，

其中所述多个压力加载元件(6a，6b，6c)中的各个压力加载元件用于施加局部不同的压力，和/或

具有不同的形状和/或接触面尺寸，和/或

能够不同程度地偏转，和/或

能够借助不同的力偏转。

8.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

所述至少一个压力加载元件(6)为了产生预先限定的压紧压力变化曲线能够压紧到所述应力产生层(4)上，

其中所述压紧压力变化曲线至少部段地由压力施加距所述供体衬底(2)的轴向中央的间距和/或由裂纹扩展速度和/或热加载和/或由所述供体衬底(2)的材料和/或由所述供体衬底的时效处理改变。

9.根据权利要求1或2所述的方法，

还包括如下步骤：对所述供体衬底(2)进行时效处理，

其中借助于激光束在所述供体衬底(2)的内部中产生改性部(10)，其中通过所述改性部(10)预设剥离区域(12)，沿着所述剥离区域将所述固体子层(1)从所述供体衬底(2)分离。

10.根据权利要求1或2所述的方法，

其特征在于，

所述应力产生层(4)具有聚合物材料或者由聚合物材料构成，

其中所述聚合物材料具有低于20℃的玻璃化转变温度，并且

其中所述聚合物材料冷却到低于玻璃化转变温度的温度上，其中通过进行的玻璃化转变在所述供体衬底(2)中产生机械应力。