[发明专利]涂层切削工具及其制造方法

摘要

本发明涉及一种涂层切削工具和一种制造涂层切削工具的方法，所述涂层切削工具由基材和单层或多层硬质材料涂层组成，所述基材选自硬质合金、金属陶瓷、陶瓷、立方氮化硼(cBN)、多晶金刚石(PCD)或高速钢(HSS)，并且所述硬质涂层包含至少一个AlaCrbMecOdNe层，其中a、b、c、d和e是原子比，并且其中a+b+c+d+e＝1，a、b、d和e各自>0，c＝0或c＞0，a≥b，c/(a+b+c)≤0.1，优选≤0.05，0.1≤d/(d+e)≤0.5，其中Me是选自Ti、Zr、Ta、Nb、Hf、Si和V的至少一种元素，并且其中所述AlaCrbMecOdNe层通过电弧气相沉积工艺(电弧‑PVD)使用含Al和Cr的靶来沉积，所述靶中Al:Cr的原子比在95:5至50:50的范围内，并且其中‑反应气体混合物含有O2气体和N2气体，其中任选地，一部分或全部的所述O2气体和一部分的所述N2气体被含氮和氧的气体代替，所述含氮和氧的气体选自一氧化二氮N2O、一氧化氮NO、二氧化氮NO2和四氧化二氮N2O4，‑所述反应气体混合物任选地含有一种或多种惰性气体，‑总气体压力在7Pa至20Pa的范围内，‑O2分压为0.001Pa至0.1Pa，‑0.002≤(流速(O2)/流速(N2)≤0.02，‑(流速(O2)+流速(N2))/流速(惰性气体)≥4。