[发明专利]获得具有对准标记的衬底的高度图的方法、衬底对准测量设备和光刻设备在审
| 申请号： | 201880046991.3 | 申请日： | 2018-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN110914764A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | B·范霍夫;A·霍尔谢尔;A·P·滕布林克;P·F·范吉尔斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于获得具有对准标记的衬底的高度图的方法，所述方法包括以下步骤：确定所述衬底的一个或更多个部位或区域的高度，和基于所述衬底的所述一个或更多个部位或区域的所确定的高度和所述衬底的形状模型来确定所述衬底的高度图。 | ||
| 搜索关键词： | 获得 具有 对准 标记 衬底 高度 方法 测量 设备 光刻 | ||
【主权项】：
暂无信息
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