[发明专利]等离子体功率输送系统的周期间控制系统及其操作方法有效
| 申请号： | 201880045502.2 | 申请日： | 2018-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110870039B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | G·J·J·范齐尔 | 申请（专利权）人： | 先进能源工业公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 刘兆君 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种发生器产生输出，例如输送的功率、电压、电流、正向功率等，其遵循预定的输出对时间的规定模式，其中，通过基于在过去的一个或多个重复周期中进行的测量来控制模式的各部分而以重复周期重复该模式。可变阻抗匹配网络可以控制呈现给射频发生器的阻抗，同时发生器产生的输出遵循规定输出对时间变化的模式，其中，通过基于在过去的一个或多个重复周期取得的测量结果控制所述模式的部分期间的匹配中可变阻抗元件，所述模式以重复周期重复。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 功率 输送 系统 周期 控制系统 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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