[发明专利]等离子体功率输送系统的周期间控制系统及其操作方法

权利要求书

1.一种功率输送系统，包括：

发生器，其产生输出，所述输出遵循规定的输出对时间的模式，其中，所述模式通过以下来以一重复周期重复：基于针对所述模式的部分在过去一个或多个重复周期所进行的测量来控制所述模式的相同的部分；以及

周期间控制器，其比较针对给定设定点在过去一个或多个周期的输出的测量值，并在所述设定点使用过去的测量值来生成当前误差信号和控制器输出。

2.根据权利要求1所述的功率输送系统，其中：所述周期间控制器还基于在当前周期之前的周期取得的对所述重复模式的测量结果与所述当前周期期间对所述重复模式的值的测量结果的组合来控制所述重复的输出模式。

3.根据权利要求1所述的功率输送系统，其中，所述重复的输出模式遵循输出对时间的规定模式，其中，所述规定模式以重复周期重复，并且其中，在当前周期之前的周期内取得的对所述重复模式的值的测量结果在过去的一个或多个重复周期中出现。

4.根据权利要求3所述的功率输送系统，还包括：接收多维输入并产生多维输出的设备，其中，在所述模式中的特定时间周期内到所述设备的控制输入的元素与在相同的特定时间周期内来自所述设备的输出的元素之间的相关性由所述周期间控制器确定并使用。

5.根据权利要求4所述的功率输送系统，其中，所述控制输入的元素与所述输出的元素之间的所述相关性是通过对所述控制输入进行扰动并观察对所述扰动的响应来确定的。

6.根据权利要求4所述的功率输送系统，其中，到所述设备的所述控制输入以及来自所述设备的所述输出是多维的，并且其中，在周期性模式中的特定时间周期和邻近所述特定时间周期的时间周期内的所述控制输入的元素与所述特定时间周期内来自所述设备的所述输出的元素之间的所述相关性由所述周期间控制器确定并使用。

7.根据权利要求6所述的功率输送系统，其中，所述控制输入的元素与所述输出的元素之间的所述相关性是通过对所述控制输入进行扰动并观察对所述扰动的响应来确定的。

8.根据权利要求1所述的功率输送系统，其中，所述发生器是单个射频发生器或直流发生器中的一个，并且所述输出是电压、电流和功率中的至少一个。

9.根据权利要求1所述的功率输送系统，其中，所述发生器包括多个射频发生器，或者多个直流发生器，或者射频发生器与直流发生器的组合，并且所述输出是输送到等离子体系统的电压、电流和功率中的至少一个。

10.根据权利要求4所述的功率输送系统，其中，所述输出的一个元素是电压、电流和功率中的一个或其组合，并且所述输出的另一元素是呈现给所述发生器的阻抗和所述发生器的源阻抗中的一个。

11.根据权利要求6所述的功率输送系统，其中，所述输出的一个元素是电压、电流和功率中的一个或其组合，并且所述输出的另一元素是呈现给所述发生器的阻抗和所述发生器的源阻抗中的一个。

12.一种功率输送系统，包括：

与存储器通信的控制系统，所述控制系统用于产生遵循输出对时间的规定的模式的输出，且比较针对给定设定点在过去一个或多个周期的输出的测量值，并在所述设定点使用过去的测量值来生成当前误差信号和控制器输出，

其中，所述模式通过以下来以一重复周期重复：基于针对所述模式的部分在过去一个或多个重复周期所进行的测量来控制所述模式的相同的部分，

其中，通过基于存储在所述存储器中的所述输出的测量结果控制所述规定模式的重复来使所述规定模式以重复周期重复，存储在所述存储器中的所述输出是从输出对时间的所述规定模式的一个或多个先前重复取得的。

13.根据权利要求12所述的功率输送系统，其中，所述控制系统将从一个或多个先前重复取得的测量结果与从当前重复取得的测量结果进行组合。