[发明专利]反射镜组件和光模块有效
| 申请号： | 201880040989.5 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN110799881B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 铃木智史;港谷恭辅;杉本达哉;藏本丰;柴山胜己;细川畅郎;山本宙和;小山卓雄 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;G01B9/02;G01J3/45 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)间的光路的一部分的光透射部(14)。光透射部(14)是对分束器组件(3)与可动反射镜(22)间的光路和分束器组件(3)与固定反射镜(16)间的光路之间产生的光程差进行修正的部分。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。 | ||
| 搜索关键词： | 反射 组件 模块 | ||
【主权项】：
1.一种反射镜组件，其特征在于，包括：/n反射镜器件，其包含基体和可动反射镜，所述基体具有第1表面和与所述第1表面相反侧的第2表面，所述可动反射镜以沿着与所述第1表面交叉的第1方向可移动的方式被支承在所述基体；/n光学功能部件，其具有与所述第2表面相对的第3表面和与所述第3表面相反侧的第4表面；和/n相对于所述光学功能部件配置在与所述反射镜器件相反侧的固定反射镜，/n在所述反射镜器件形成有构成分束器组件与所述固定反射镜之间的光路的一部分的光透射部，其中，所述分束器组件与所述可动反射镜和所述固定反射镜一起构成干涉光学系统，/n所述光透射部是对以下两个光路之间产生的光程差进行修正的部分，即：所述分束器组件与所述可动反射镜之间的光路和所述分束器组件与所述固定反射镜之间的所述光路，/n所述基体的所述第2表面与所述光学功能部件的所述第3表面彼此接合在一起。/n
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