[发明专利]反射镜组件和光模块

说明书

反射镜组件(2)包括：含有基体(21)和可动反射镜(22)的反射镜器件(20)；光学功能部件(13)；和相对于光学功能部件(13)配置在与反射镜器件(20)相反侧的固定反射镜(16)。在光学功能部件(13)形成有构成分束器组件(3)与固定反射镜(16)间的光路的一部分的光透射部(14)。光透射部(14)是对分束器组件(3)与可动反射镜(22)间的光路和分束器组件(3)与固定反射镜(16)间的光路之间产生的光程差进行修正的部分。基体(21)的第2表面(21b)与光学功能部件(13)的第3表面(13a)彼此接合在一起。

技术领域

本发明涉及反射镜组件和光模块。

背景技术

作为由SOI(Silicon On Insulator：绝缘体上硅结构)基片构成的MEMS(MicroElectro Mechanical Systems：微机电系统)器件，已知有一种反射镜器件，其包括基体和以能够沿基体的厚度方向移动的方式被支承于基体的可动反射镜(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开2008/0284078号说明书。

发明内容

发明所要解决的技术问题

上述那样的反射镜器件由于能够提供高精度的FTIR(傅立叶变换红外光谱仪)而受到瞩目。

本发明的目的在于提供一种适合于构成高精度的干涉光学系统的反射镜组件以及具备这样的反射镜组件的光模块。

用于解决问题的技术手段

本发明的一个方面的反射镜组件包括：反射镜器件，其包含基体和可动反射镜，基体具有第1表面和与第1表面相反侧的第2表面，可动反射镜以沿着与第1表面交叉的第1方向可移动的方式被支承在基体；光学功能部件，其具有与第2表面相对的第3表面和与第3表面相反侧的第4表面；和相对于光学功能部件配置在与反射镜器件相反侧的固定反射镜，在反射镜器件形成有构成分束器组件与固定反射镜之间的光路的一部分的光透射部，其中，分束器组件与可动反射镜和固定反射镜一起构成干涉光学系统，光透射部是对以下两个光路之间产生的光程差进行修正的部分，即：分束器组件与可动反射镜之间的光路和分束器组件与固定反射镜之间的光路，基体的第2表面与光学功能部件的第3表面彼此接合在一起。

在该反射镜组件中，在反射镜器件与固定反射镜之间配置有光学功能部件，并且，该光学功能部件与反射镜器件的基体接合在一起。因此，能够在抑制基体的变形的状态下稳定地保持基体。因此，能够在反射镜器件使可动反射镜高精度地动作。并且，在光学功能部件形成有构成分束器组件与固定反射镜之间的光路的一部分的光透射部，该光透射部为对分束器组件与可动反射镜之间的光路和分束器组件与固定反射镜之间的光路这两个光路之间产生的光程差进行修正的部分。由此，能够以减小分束器组件与可动反射镜之间的光路的光程长度(考虑该光路通过的各介质的折射率后的光程长度)和分束器组件与固定反射镜之间的光路的光程长度的差的方式，修正两个光路间的光程差。根据以上说明，使用该反射镜组件，能够构成高精度的干涉光学系统。

在本发明的一个方面的反射镜组件中，基体的第2表面与光学功能部件的第3表面也可以通过直接键合而彼此接合在一起。由此，能够实现反射镜器件的基体与光学功能部件的牢固的接合。

在本发明的一个方面的反射镜组件中，固定反射镜也可以形成在光学功能部件的第4表面。由此，能够提高固定反射镜相对于反射镜器件的可动反射镜的位置精度和角度精度。