[发明专利]使用无悬臂扫描探针光刻来制作微型/纳米级条形码在审
| 申请号： | 201880036664.X | 申请日： | 2018-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN110720108A | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 安德烈·伊万金;贾里德·A·玛格林 | 申请（专利权）人： | 泰拉印刷有限责任公司 |
| 主分类号： | G06K19/06 | 分类号： | G06K19/06;B82Y10/00;B82Y40/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 11291 北京同达信恒知识产权代理有限公司 | 代理人： | 何月华 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 无悬臂扫描探针光刻(CF‑SPL)技术用于以无掩膜的方式生成包含图案的1‑D、2‑D、3‑D和4‑D信息，从而使得能够进行图案设计的瞬时改变。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描探针 图案设计 光刻 悬臂 掩膜 图案 | ||
【主权项】：
1.一种无悬臂扫描探针光刻(CF-SPL)技术，包括：/n使用光刻和CF-SPL平台来制造至少一个包含图案的信息，同时控制特征密度和组成，其中，所述至少一个包含图案的信息包括微型特征和/或纳米级特征。/n
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