[发明专利]具有抗光晕保护的辐射传感器有效
| 申请号： | 201880032313.1 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN110621968B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 塞巴斯蒂安·贝克尔;阿卜杜喀迪尔·阿利安;丹尼斯·珀朗;让-雅克·永恩 | 申请（专利权）人： | 原子能与替代能源委员会 |
| 主分类号： | G01J5/04 | 分类号： | G01J5/04;G01J5/08 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王小衡;胡彬 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有在半导体衬底(101)内和上形成的多个像素(600)的辐射传感器，每个像素具有通过绝热臂(105a，105b)悬挂在所述衬底(101)上方的微板(103)，所述微板(103)包括：用于将入射电磁辐射转换为热能的构件(601)；以及无源光学挡板，其包括覆盖所述转换构件(601)的表面之一的热敏层(605)，所述热敏层(605)相对于待检测的辐射具有随着其温度而增大的反射系数。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 光晕 保护 辐射 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种辐射传感器，其包括形成在半导体衬底(101)内和半导体衬底(101)上的多个像素(600)，每个像素包括通过绝热臂(105a，105b)悬挂在所述衬底(101)上方的微板(103)，所述微板(103)按从所述衬底(101)的上表面开始的顺序包括：/n导电层(601)，其适于将入射电磁辐射转换为热能；/n无源光学挡板，其包括覆盖所述导电层(601)的表面之一的热敏层(605)，所述热敏层(605)热耦合到所述导电层(601)并且具有针对待检测的辐射的随着其温度而增大的反射系数；以及/n热阻器(603)，其覆盖所述热敏层(605)的与所述导电层(601)相对的表面。/n
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