[发明专利]铝合金以及具有高均匀性和高元素含量的制品在审
| 申请号： | 201880031820.3 | 申请日： | 2018-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN110621805A | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 维塔利·V·马斯尼科夫;大卫·P·凡希顿;马修·J·科梅尔茨;维斯洛·戴拉克;亚瑟·V·泰斯塔尼罗;凯瑟琳·S·加德纳 | 申请（专利权）人： | 美题隆公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22D7/00;B22D21/06 |
| 代理公司： | 11138 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 关越 |
| 地址： | 美国俄亥俄州梅菲*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了具有钪作为合金元素的铝合金。如本文所述，该合金具有通过原子百分比测量的高钪含量并且具有高度均匀性。还公开了由这些合金形成制品的方法，其中这种制品包括可用于形成含有大量钪的薄膜的溅射靶。 | ||
| 搜索关键词： | 合金 高度均匀性 原子百分比 合金元素 溅射靶 铝合金 可用 薄膜 测量 | ||
【主权项】：
1.一种溅射靶，其由包含钪(Sc)和铝(Al)的合金形成，其中，钪均匀地分布在溅射靶的表面上，并且钪在所述表面的水平方向和垂直方向上的整个半径上的差值至多+/-0.5wt％。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于美题隆公司，未经美题隆公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880031820.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：无再沉积溅射系统
- 下一篇：化学镀铂液和使用该化学镀铂液得到的铂覆膜
- 同类专利
- 专利分类
