[发明专利]MZ调制器中的RF啁啾降低有效
| 申请号： | 201880031053.6 | 申请日： | 2018-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN110622063B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | N·D·威特布莱德;S·琼斯 | 申请（专利权）人： | 朗美通技术英国有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/225 | 分类号： | G02F1/225;G02F1/21 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 肖冰滨;王晓晓 |
| 地址： | 英国北*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于平衡的推挽式马赫‑曾德尔调变器的波导结构。该波导结构包括多个层。所述多个层依次包括：绝缘或半绝缘衬底；下包覆层；波导芯层；以及上包覆层。所述下包覆层、波导芯层和上包覆层被蚀刻以形成：信号波导和接地波导，他们通过所述下包覆层连接；以及信号线和接地线，每个都位于相应的波导附近，并且每个都经由在所述下包覆层的平面中连接的一个或多个相应的电阻结构而被连接到所述相应的波导。 | ||
| 搜索关键词： | mz 调制器 中的 rf 啁啾 降低 | ||
【主权项】：
1.一种用于一平衡的推挽式马赫-曾德尔调制器的波导结构，该波导结构包括：/n多个层，该多个层依次包括：/n绝缘或半绝缘衬底501；/n下包覆层502；/n波导芯层503；以及/n上包覆层504；其中所述下包覆层、波导芯层和上包覆层被蚀刻以形成：/n信号波导512和接地波导513，它们通过所述下包覆层连接；以及/n信号线511和接地线514，每个都位于相应的波导附近，并且每个都通过在所述下包覆层的平面中连接的一个或多个相应的电阻结构530而连接到所述相应的波导。/n
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