[发明专利]MZ调制器中的RF啁啾降低

权利要求书

1.一种波导结构，该波导结构包括：

多个层，该多个层依次包括：

绝缘或半绝缘衬底；

下包覆层；

波导芯层；以及

上包覆层；

其中所述下包覆层、波导芯层和上包覆层被蚀刻以形成：

信号波导和接地波导，它们通过所述下包覆层连接；以及

信号线和接地线，它们位于相应的波导附近，且通过在所述下包覆层的平面中连接的一个或多个相应的电阻结构而被连接到相应的波导。

2.根据权利要求1所述的波导结构，其中：

所述信号波导、接地波导、信号线和接地线中的每一个包括相应的电极；以及

其中所述信号线和信号波导的所述电极彼此电连接，并且所述接地线的所述电极和所述接地波导的所述电极彼此电连接。

3.根据权利要求1所述的波导结构，其中所述一个或多个相应电阻结构中的每一个的电阻在10欧姆和10千欧姆之间。

4.根据权利要求1所述的波导结构，其中所述一个或多个相应电阻结构是所述下包覆层的部分。

5.根据权利要求4所述的波导结构，其中所述一个或多个相应电阻结构各自包括所述下包覆层的伸长部分，所述伸长部分通过所述下包覆层的相应连接部分而在一端处连接到对应波导且在另一端处连接到对应线。

6.根据权利要求1所述的波导结构，其中连接到所述信号线的电极和连接到所述接地线的电极通过多个导电元件而被连接到相应的波导电极。

7.一种平衡的推挽式马赫-曾德尔干涉仪，包括：

波导结构，该波导结构包括：

多个层，该多个层依次包括：

绝缘或半绝缘衬底；

下包覆层；

波导芯层；以及

上包覆层；

其中所述下包覆层、波导芯层和上包覆层被蚀刻以形成：

信号波导和接地波导，它们通过所述下包覆层连接；以及

信号线和接地线，它们位于相应的波导附近，且通过在所述下包覆层的平面中连接的一个或多个相应的电阻结构而被连接到相应的波导。

8.根据权利要求7所述的平衡的推挽式马赫-曾德尔干涉仪，其中：

所述信号波导、所述接地波导、所述信号线和所述接地线中的每一个包括相应的电极；以及

其中所述信号线的所述电极和所述信号波导的所述电极彼此电连接，并且所述接地线的所述电极和所述接地波导的所述电极彼此电连接。

9.根据权利要求7所述的平衡的推挽式马赫-曾德尔干涉仪，其中所述一个或多个相应电阻结构中的每一个的电阻在10欧姆和10千欧姆之间。

10.根据权利要求7所述的平衡的推挽式马赫-曾德尔干涉仪，其中所述一个或多个相应电阻结构是所述下包覆层的部分。

11.根据权利要求10所述的平衡的推挽式马赫-曾德尔干涉仪，其中所述一个或多个相应电阻结构各自包括所述下包覆层的伸长部分，所述伸长部分通过所述下包覆层的相应连接部分而在一端处连接到对应波导且在另一端处连接到对应线。

12.根据权利要求7所述的平衡的推挽式马赫-曾德尔干涉仪，其中连接到所述信号线的电极和连接到所述接地线的电极通过多个导电元件而被连接到相应的波导电极。

13.根据权利要求12所述的平衡的推挽式马赫-曾德尔干涉仪，其中电阻结构与所述多个导电元件中的每一导电元件相关联。