[发明专利]固态摄像元件和电子装置在审
| 申请号： | 201880025934.7 | 申请日： | 2018-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN110546764A | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 中川遥之 | 申请（专利权）人： | 索尼半导体解决方案公司 |
| 主分类号： | H01L27/146 | 分类号： | H01L27/146;H04N5/369 |
| 代理公司： | 11290 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈桂香;曹正建<国际申请>=PCT/JP |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明可提高具有垂直栅极电极的传输栅极的电荷传输效率。固态摄像元件包括光电转换部、电荷累积部和传输栅极。所述光电转换部形成在半导体基板的深度方向上，并产生对应于接收光量的电荷。所述电荷累积部累积所述光电转换部产生的电荷。所述传输栅极将电荷从所述光电转换部传输到所述电荷累积部。所述传输栅极包括多个垂直栅极电极，每个垂直栅极电极从所述半导体基板的界面嵌入预定深度，并且在所述半导体基板的深度方向上至少一部分具有不同的直径。 | ||
| 搜索关键词： | 光电转换部 传输栅极 半导体基板 电荷累积部 垂直栅极 电荷 电极 电荷传输效率 固态摄像元件 接收光量 嵌入 传输 | ||
【主权项】：
1.一种固态摄像元件，其包括：/n光电转换部，其形成在半导体基板的深度方向上，并产生对应于接收光量的电荷；/n电荷累积部，其累积所述光电转换部产生的电荷；和/n传输栅极，其将所述光电转换部产生的电荷传输到所述电荷累积部，/n其中，所述传输栅极包括多个垂直栅极电极，所述多个垂直栅极电极从所述半导体基板的界面填充至预定深度，并且在所述半导体基板的深度方向上至少一部分直径是不同的。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
