[发明专利]测量等离子体处理反应器中的等离子体辐射的方法和系统在审
| 申请号： | 201880025115.2 | 申请日： | 2018-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN110520959A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | A·陈 | 申请（专利权）人： | 艾尼尔有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/02;H05H1/00;H05H1/24;B23K26/02;G01N23/22 |
| 代理公司： | 11336 北京市磐华律师事务所 | 代理人： | 赵楠<国际申请>=PCT/US2018/ |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了一种通过使用光学等离子体监测装置(OPMA)测量等离子体处理反应器(PPR)内部等离子体的电磁(EM)辐射来表征PPR的方法。OPMA包含多个光电传感器，这些光电传感器可以测量OPMA上各个选定位置的窄和/或宽光谱区域的EM辐射，并且将它们记录为时间的函数。OPMA可以具有与工件本质上相似的尺寸，以辅助向PPR中装载和卸载。 | ||
| 搜索关键词： | 光电传感器 等离子体监测装置 等离子体 测量等离子体 处理反应器 选定位置 辐射 宽光谱 卸载 装载 测量 记录 | ||
【主权项】：
1.一种用于测量等离子体处理反应器(PPR)中的等离子体辐射的装置，包括：/n准直仪，配置成限制入射角，使得仅具有特定角度范围的电磁辐射通过，所述电磁辐射由PPR内部的等离子体发射；/n带通滤波器，配置成允许特定波长或特定波长附近的所述电磁辐射通过；以及/n多个光电传感器，配置成将所述特定波长或所述特定波长附近的所述电磁辐射转换为电数据，所述电数据记录在所述装置的非暂时性计算机可读存储介质上。/n
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