[发明专利]脉冲光束光谱特征控制有效
| 申请号： | 201880020530.9 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN110521071B | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 邓国泰 | 申请（专利权）人： | 西默有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/10 | 分类号： | H01S3/10;H01S3/23;H01S3/03;H01S3/00;G02B26/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑振 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 通过接收指令调节光源所产生的脉冲光束的光谱特征以将该脉冲光束的光谱特征从第一目标范围中的数值改变为第二目标范围中的数值；调整该光源的第一操作特性；确定针对该光源的第二可致动装置的调节；并且以基于所确定的调节的量调节该第二可致动装置。通过调节该光源的第一可致动装置调整该第一操作特性，直至确定该第一操作特性处于可接受数值范围之内。针对该第二可致动装置的调节至少部分基于以下来确定：第一可致动装置的调节与该光束的光谱特征之间的关系，以及该第二目标范围。 | ||
| 搜索关键词： | 脉冲 光束 光谱 特征 控制 | ||
【主权项】：
1.一种用于调节光源所产生的脉冲光束的光谱特征的方法，所述方法包括：/n接收指令以将所述脉冲光束的光谱特征从第一目标范围中的数值改变为第二目标范围中的数值；/n调整所述光源的第一操作特性，其中调整所述第一操作特性包括调节所述光源的第一可致动装置直至确定所述第一操作特性处于可接受数值范围之内；/n至少部分基于以下各项确定针对所述光源的第二可致动装置的调节：/n所述第一可致动装置的调节与所述光束的光谱特征之间的关系，和/n所述第二目标范围；以及/n以基于所确定的调节的量调节所述第二可致动装置。/n
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