[发明专利]探针构造体以及探针构造体的制造方法在审
| 申请号： | 201880019480.2 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN110446931A | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 前田真寿;沼田清;山崎秀和;藤野真 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;B82Y10/00;B82Y40/00;C01B32/158;G01R1/06;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 罗英;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的探针构造体1具备：保持板2，具有第一面21与第二面22、且至少所述第一面21经绝缘；多个电极3，以相互分离的状态形成于所述保持板2的第一面21上；以及碳纳米管构造体4，立设于所述电极3上；且在所述保持板2中形成有与所述各电极3相对应的贯穿孔24。 | ||
| 搜索关键词： | 探针构造 电极 碳纳米管 第二面 构造体 贯穿孔 绝缘 制造 | ||
【主权项】：
1.一种探针构造体，包括：保持板，具有第一面与第二面、且至少所述第一面经绝缘；多个电极，以相互分离的状态形成于所述保持板的第一面上；以及碳纳米管构造体，立设于所述各电极上；且在所述保持板中形成有与所述各电极相对应的贯穿孔。
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