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[发明专利]MI元件的制造方法及MI元件-CN201880079165.9在审
发明人：山本正美;北野一彦;太田宪宏;坂井滋树;沼田清 -专利权人：日本电产理德股份有限公司
申请日： 2018-11-26 - 公布日： 2020-07-24 - 主分类号： H01L43/00 文献下载
摘要：MI元件1的制造方法包括：绝缘步骤，在非晶线2的外周形成绝缘体层3；无电解镀敷步骤，在绝缘体层3的外周面形成无电解镀敷层4；电解镀敷步骤，在无电解镀敷层4的外周面形成电解镀敷层5；抗蚀剂步骤，在电解镀敷层5的外周面形成抗蚀剂层R；曝光步骤，以激光对抗蚀剂层R进行曝光，而在抗蚀剂层R的外周面形成螺旋状的沟道部GR；以及蚀刻步骤，将抗蚀剂层R作为遮盖材而进行蚀刻，去除沟道部GR中的无电解镀敷层4及电解镀敷层5，从而由残存的无电解镀敷层4及电解镀敷层5形成线圈6。
mi 元件制造方法

[发明专利]探针构造体以及探针构造体的制造方法-CN201880019480.2在审
发明人：前田真寿;沼田清;山崎秀和;藤野真 -专利权人：日本电产理德股份有限公司
申请日： 2018-03-14 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本发明的探针构造体1具备：保持板2，具有第一面21与第二面22、且至少所述第一面21经绝缘；多个电极3，以相互分离的状态形成于所述保持板2的第一面21上；以及碳纳米管构造体4，立设于所述电极3上；且在所述保持板2中形成有与所述各电极3相对应的贯穿孔24。
探针构造电极碳纳米管第二面构造体贯穿孔绝缘制造

[发明专利]接触导电辅助具及检查装置-CN201780032757.0在审
发明人： 沼田清 -专利权人：日本电产理德股份有限公司
申请日： 2017-04-26 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本发明提供一种易于提升接触对象物的高度参差不齐的吸收能力的接触导电辅助具及检查装置。本发明的接触导电辅助具3包括：支撑板31，为板状构件，且形成有贯通板厚方向的多个贯通孔H；探针Pr，分别插穿于多个贯通孔H，具有筒状形状，并且具有导电性；及弹性体E，将各探针Pr弹性地保持在各贯通孔H内；各筒状体Pr中形成有沿该探针Pr的轴方向伸缩，并且卷绕方向为第一方向的螺旋状的第一弹簧部SO1。
接触导电贯通孔探针检查装置导电性板状构件卷绕方向筒状形状吸收能力弹簧部对象物贯通板螺旋状筒状体支撑板伸缩

[发明专利]检测用夹具、电极部、探针及检测用夹具的制造方法-CN201410524378.1在审
发明人： 沼田清 -专利权人：日本电产理德股份有限公司
申请日： 2014-10-08 - 公布日： 2015-04-15 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明提供对微小的检测点使用四探针法的检测用夹具，提供低成本且电连接性稳定的构成。检测用夹具包括复数个探针和复数个电极部。探针包括芯状探针和筒状探针。芯状探针是电连接于检测点。筒状探针是与芯状探针绝缘的状态下配置在该芯状探针的外侧，并电连接于检测点。电极部包括内筒电极部和外筒电极部。内筒电极部是与插入的芯状探针的外周面接触，从而电连接于该芯状探针。外筒电极部是与内筒电极部绝缘的状态下配置在该内筒电极部的外侧，并与筒状探针电连接。
检测夹具电极探针制造方法

[发明专利]检查用接触器和检查用夹具-CN201210252405.5有效
发明人： 沼田清 -专利权人：日本电产理德株式会社
申请日： 2012-07-20 - 公布日： 2013-01-23 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本发明提供一种可以应对基板的微细化和复杂化、并在检查时提供强的按压力且在非检查时提供弱的按压力的微细的接触器和检查用夹具。一种将被检查物的多个检查点与在检查用夹具的电极体上具备的并与检查检查点间的电特性的检查装置电连接的多个电极部电连接的检查用接触器具备：两端具有开口部且前端开口部与电极部的表面抵接的导电性的筒状部件、从筒状部件的后端开口部突出并配置在筒状部件内部、且后端与检查点接触的导电性的棒状部件和将筒状部件与板状部件电连接的固定部，筒状部件具有在筒状部件的壁部形成在长轴方向上伸缩的螺旋状的缺口的第一和第二缺口部，第一或第二缺口部在棒状部件与检查点抵接并实施检查时达到收缩的极限。
检查接触器夹具

[发明专利]具有销顶端部的清洁机构的基板检查装置-CN200980128106.7有效
发明人： 沼田清;生野裕仁;广部幸祐;末满敦;山本正美;平井健介 -专利权人：日本电产丽德株式会社
申请日： 2009-07-15 - 公布日： 2011-06-15 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：进行销顶端部的清洁而不会中断连续地检查多个基板的基板检查。基板检查装置（10、70）具有在运送路上以既定的间隔设置的被检查基板保持部（40）、沿运送路移动被检查基板保持部的移动机构（22t）、设置在运送路的中途而顺次检查保持在被检查基板保持部上的被检查基板的检查部（30）、在运送路上以既定的间隔设置的任意的相邻的被检查基板保持部之间设置的清洁机构（50）。检查部通过令多个销与被检查基板上的配线的检查点接触而测定该配线的电气特性。清洁机构利用移动机构而移动，在通过检查部时进行多个销的清洁。
具有顶端清洁机构检查装置

[发明专利]检查用夹具及检查用触头-CN201010193351.0有效
发明人：春日部进;沼田清 -专利权人：日本电产理德株式会社
申请日： 2010-06-01 - 公布日： 2010-12-08 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本发明提供一种检查用夹具及检查用触头，该检查用夹具具有能够应对基板的细小化及复杂化，并且具备部件个数减低的简单化构造的四端子测定用的触头。在将被检查物和检查装置电气连接的检查用夹具中，具有：与上述检查装置电气连接的电极部，一端压接于检查部且另一端压接于电极部的导电性的筒形状的第一筒体；和大致同轴地配置在该第一筒体内，一端压接于检查部且另一端压接于电极部的导电性的筒形状的第二筒体，上述第一筒体和上述第二筒体上隔着中间部设置有由筒壁部的螺旋状的切口部形成的在长轴方向上伸缩的2个伸缩部，第一筒体和上述第二筒体在各自的中间部被固定。
检查夹具用触头

[发明专利]检查治具、电极构造及电极构造的制造方法-CN200910175078.6有效
发明人： 沼田清 -专利权人：日本电产理德株式会社
申请日： 2009-09-27 - 公布日： 2010-05-26 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明提供一种检查治具、电极构造及电极构造的制造方法，利用包含如筒状接触件及棒状接触件的构造的接触件(同轴接触件)时，适当地利用于此种接触件，并达到电极部的结构的细微化及简易化。探针(1)包含：第1接触件(2)，以导电材料形成大致筒形形状；及第2接触件(3)，以导电材料形成细长状，并以与第1接触件(2)绝缘状态插入第1接触件(2)内。接触导通于该第1及第2接触件(2、3)的第1电极部(22)与第2电极部(23)从俯视观察，以第1电极部(22)的中心与第2电极部(23)的中心分离的方式配置。俯视观察的第1电极部(22)的最大宽度设定为小于第1接触件(2)的外径。
检查电极构造制造方法

[发明专利]基板检查用夹具及其中的连接电极部的电极结构-CN200780017490.4有效
发明人：山本正美;沼田清;加藤穰 -专利权人：日本电产理德株式会社
申请日： 2007-05-10 - 公布日： 2009-05-27 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：提供一种基板检查用夹具，能够降低触杆与连接电极部的接触电阻值，同时具有稳定的接触电阻值而与使用次数无关。为检查受检基板的电气特性而实现基板检查装置主体与设置在受检基板的布线图形上的多个基板受检点之间的电气导通，该基板检查用夹具具有触杆群、支持触杆群的触杆支持体和连接在基板检查装置主体上的连接电极体；该触杆群由导电性的棒状的触杆构成，该触杆的两端具有实现电气导通的端部，一方端部压接一个基板受检点，该连接电极体具备连接电极部，该连接电极部面对触杆群的各个触杆的另一方端部设置；在连接触杆群的另一方端部与连接电极体时，各个另一方端部的近旁的侧周面的至少一部分接触与其相面对的连接电极部的一部分而成为电气导通状态。
检查夹具及其中的连接电极结构

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