[发明专利]检查装置的诊断方法和检查系统有效
| 申请号： | 201880018642.0 | 申请日： | 2018-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN110431431B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 上田真德 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/66;G01R31/26;H01L21/66;H01R43/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在检查装置中进行多个连接器的自我诊断，所述检查装置具备：载置台，其用于载置基板；装设部，其用于装设使探针与形成于基板的多个器件接触的探针卡；测试器，其经由装设于装设部的探针卡对形成于所述基板的多个器件提供电信号，来检查器件的电气特性；以及连接构件，其设置于测试器与探针卡之间，该连接构件具有与测试器及所述探针卡分别电连接的多个连接器，且该连接构件用于将所述测试器与所述探针卡连接。此时的自我诊断方法包括以下步骤：装设诊断基板来取代探针卡；在装设诊断基板之后，实施使诊断基板与连接构件的多个连接器的接触稳定化的稳定化处理；以及在稳定化处理之后，进行多个连接器的诊断。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 诊断 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种检查装置的诊断方法，所述检查装置具备：载置台，其用于载置基板；装设部，其用于装设使探针与形成于基板的多个器件接触的探针卡；测试器，其经由装设于所述装设部的探针卡对形成于所述基板的多个器件提供电信号，来检查所述器件的电气特性；以及连接构件，其设置于所述测试器与所述探针卡之间，该连接构件具有与所述测试器及所述探针卡分别电连接的多个连接器，且该连接构件用于将所述测试器与所述探针卡连接，所述检查装置的诊断方法用于在所述检查装置中进行所述多个连接器的自我诊断，所述检查装置的诊断方法的特征在于，包括以下步骤：装设诊断基板来取代所述探针卡；在装设所述诊断基板之后，实施使所述诊断基板与所述连接构件的所述多个连接器的接触稳定化的稳定化处理；以及在所述稳定化处理之后，进行所述多个连接器的诊断。
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