[发明专利]用于抵抗外部施加的力的干涉仪的系统和方法有效
| 申请号: | 201880017534.1 | 申请日: | 2018-03-14 |
| 公开(公告)号: | CN110520700B | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
| 发明(设计)人: | J·M·考菲;M·S·乔治亚迪斯;J·Y·周 | 申请(专利权)人: | 热电科学仪器有限公司 |
| 主分类号: | G01J3/06 | 分类号: | G01J3/06;G01J3/453;G01B9/02;G01J3/02;H02P25/034;G05D3/20 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陈洁;周全 |
| 地址: | 美国威*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 描述一种加固型干涉仪的实施例,所述加固型干涉仪包括:光源(210),其产生光束;固定镜面(207);移动镜面(205),其沿着线性路径行进;分束器(215),其将所述光束的第一部分引导到所述固定镜面且将所述光束的第二部分引导到所述移动镜面,其中所述分束器将从所述固定镜面反射的所述第一部分和从所述移动镜面反射的所述第二部分重组;以及伺服控制(203),其在周转周期起始时将相当大程度的力施加到所述移动镜面,其中所述相当大程度的力足以将高速行进的所述移动镜面重导向到所述线性路径上相反的行进方向。 | ||
| 搜索关键词: | 用于 抵抗 外部 施加 干涉仪 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种加固型干涉仪,其包括/n光源,其产生光束;/n固定镜面;/n移动镜面,其沿着线性路径行进;/n分束器,其将所述光束的第一部分引导到所述固定镜面且将所述光束的第二部分引导到所述移动镜面,其中所述分束器将从所述固定镜面反射的所述第一部分和从所述移动镜面反射的所述第二部分重组;以及/n伺服控制,其在周转周期起始时将相当大程度的力施加到所述移动镜面,其中所述相当大程度的力足以将高速行进的所述移动镜面重导向到所述线性路径上相反的行进方向。/n
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