[发明专利]用于抵抗外部施加的力的干涉仪的系统和方法

权利要求书

1.一种加固型干涉仪，其包括

光源，其产生光束；

固定镜面；

移动镜面，其沿着线性路径行进；

驱动线圈；

分束器，其将所述光束的第一部分引导到所述固定镜面且将所述光束的第二部分引导到所述移动镜面，其中所述分束器将从所述固定镜面反射的所述第一部分和从所述移动镜面反射的所述第二部分重组；以及

伺服控制，其在周转周期起始时利用所述驱动线圈将50-300克的相当大程度的力施加到以大于或等于3cm/s的稳态速度行进的所述移动镜面，其中所述相当大程度的力使所述移动镜面的行进方向反转，并且所述伺服控制保持施加所述相当大程度的力，直到所述移动镜面达到所述稳态速度。

2.根据权利要求1所述的加固型干涉仪，其中：

所述伺服控制采用混合控制方案以便在所述周转周期的所述起始时从闭环控制切换到开环控制，并在所述移动镜面的所述行进方向反转时从开环控制切换到闭环控制。

3.根据权利要求2所述的加固型干涉仪，其中：

所述伺服控制在所述闭环控制下利用所述驱动线圈向所述移动镜面施加力，以保持所述稳态速度。

4.根据权利要求1所述的加固型干涉仪，其中：

所述固定镜面进一步包括动态对准系统，所述动态对准系统包括具有刚性特性的一个或多个调谐元件。

5.根据权利要求4所述的加固型干涉仪，其中：

所述一个或多个调谐元件包括压电致动器。

6.根据权利要求4所述的加固型干涉仪，其中：

所述一个或多个调谐元件包括机械致动器。

7.根据权利要求4所述的加固型干涉仪，其中：

所述动态对准系统进一步包括具有刚性特性的粗略调谐机构。

8.根据权利要求7所述的加固型干涉仪，其中：

所述粗略调谐机构包括导螺杆或步进式电机。

9.根据权利要求7所述的加固型干涉仪，其中：

所述调谐元件和粗略调谐机构提供额外补偿范围。

10.根据权利要求1所述的加固型干涉仪，还包括：

运动检测器，所述运动检测器测量施加在所述加固型干涉仪上的力并定位于所述加固型干涉仪的主体的非移动部分上且向所述伺服控制提供信息以改变施加到所述移动镜面的所述相当大程度的力的大小。

11.根据权利要求1所述的加固型干涉仪，还包括：

运动检测器，所述运动检测器测量施加在所述加固型干涉仪上的力并定位于端板上且提供信息以对所述固定镜面进行位置调整。

12.根据权利要求10所述的加固型干涉仪，其中：

所述运动检测器包括加速度计。

13.根据权利要求1所述的加固型干涉仪，其进一步包括：

检测器。

14.根据权利要求13所述的加固型干涉仪，其中：

所述检测器包括快速检测器。

15.根据权利要求14所述的加固型干涉仪，其中：

所述快速检测器包括碲镉汞(MCT)检测器。

16.根据权利要求13所述的加固型干涉仪，其中：

所述检测器包括慢速检测器。

17.根据权利要求16所述的加固型干涉仪，其中：

所述慢速检测器包括硫酸三甘肽(TGS)检测器。