[发明专利]液体材料汽化供给装置和计算机可读存储介质有效
| 申请号： | 201880016459.7 | 申请日： | 2018-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN110382103B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 宫本英显 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | B01J7/02 | 分类号： | B01J7/02;C23C16/448;G05D7/01;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 李成必;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供液体材料汽化供给装置和计算机可读存储介质。不需要根据材料气体的种类来实施校准，即使是没有校准数据的材料气体也能够准确地控制流量。液体材料汽化供给装置包括：第一容器，使液体材料汽化而生成材料气体；第二容器，与所述第一容器连接，以规定压力收容由所述第一容器生成的所述材料气体；压力传感器，检测所述第二容器内的压力；导出通道，从所述第二容器导出所述材料气体；流体控制阀，设置于所述导出通道，开关该导出通道；以及流量控制部，从所述导出通道导出以规定压力收容于所述第二容器的所述材料气体时，基于由所述压力传感器检测的检测压力的下降，控制所述流体控制阀的开度，以控制从所述导出通道导出的所述材料气体的流量。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 材料 汽化 供给 装置 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
1.一种液体材料汽化供给装置，其特征在于包括：第一容器，使液体材料汽化而生成材料气体；第二容器，与所述第一容器连接，以规定压力收容由所述第一容器生成的所述材料气体；压力传感器，检测所述第二容器内的压力；导出通道，从所述第二容器导出所述材料气体；流体控制阀，设置于所述导出通道，开关该导出通道；以及流量控制部，从所述导出通道导出以规定压力收容于所述第二容器的所述材料气体时，基于由所述压力传感器检测的检测压力的下降，控制所述流体控制阀的开度，以控制从所述导出通道导出的所述材料气体的流量。
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