[发明专利]喷镀被膜、喷镀用粉、喷镀用粉的制造方法和喷镀被膜的制造方法

摘要

提供喷镀被膜，是包含稀土氟化物和/或稀土氧氟化物的喷镀被膜，含有0.01～2质量％的碳或者1～1000ppm的钛或钼，并且在不含氧氟化物的情况下，用L*a*b*色度表示呈L*为25～64、a*为‑3.0～+5.0、b*为‑4.0～+8.0的灰色乃至黑色，在包含氧氟化物的情况下，用L*a*b*色度表示，呈L*为25以上且不到91、a*为‑3.0～+5.0、b*为‑6.0～+8.0的白色或者灰色乃至黑色。如果将该被膜形成于耐等离子体构件，则部分的颜色的变化少，取出清洗时也不必再部分地实施难以进行的清洗，成为能够确实实现原本的长寿命的构件。

主权项

1.喷镀被膜，其特征在于，是包括下述(1)和/或(2)、或者下述(1)和/或(2)与选自下述(3)～(5)中的1种或2种以上的混合物的喷镀被膜，(1)选自包含钇的3A族的稀土元素中的1种以上的稀土元素的氟化物(2)所述稀土元素的氧氟化物(3)所述稀土元素的氧化物(4)所述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氧化物(5)所述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氟化物含有0.004～2质量％的碳或者含有1～1000ppm的钛或钼，并且在不含所述(2)的氧氟化物的情况下，用L^*a^*b^*色度表示，呈L^*为25～64、a^*为‑3.0～+5.0、b^*为‑6.0～+8.0的灰色乃至黑色，在包含所述(2)的氧氟化物的情况下，用L^*a^*b^*色度表示，呈L^*为25以上且不到91、a^*为‑3.0～+5.0、b^*为‑6.0～+8.0的白色或者灰色乃至黑色。