[发明专利]喷镀被膜、喷镀用粉、喷镀用粉的制造方法和喷镀被膜的制造方法有效
申请号: | 201880014710.6 | 申请日: | 2018-02-28 |
公开(公告)号: | CN110382730B | 公开(公告)日: | 2022-09-23 |
发明(设计)人: | 浜谷典明;植原一郎 | 申请(专利权)人: | 信越化学工业株式会社 |
主分类号: | C23C4/04 | 分类号: | C23C4/04;C01F17/265;C01F17/10;H01L21/302 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 何杨 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 喷镀被膜 喷镀用粉 制造 方法 | ||
1.喷镀被膜,其特征在于,是包括下述(1)和/或(2)、或者下述(1)和/或(2)与选自下述(3)~(5)中的1种或2种以上的混合物的喷镀被膜,
(1)选自Y、Gd、Yb和La中的1种以上的稀土元素的氟化物
(2)所述稀土元素的氧氟化物
(3)所述稀土元素的氧化物
(4)所述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氧化物
(5)所述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氟化物
含有0.004~2质量%的碳,并且
在不含所述(2)的氧氟化物的情况下,用L*a*b*色度表示,呈L*为25~64、a*为-3.0~+5.0、b*为-6.0~+8.0的灰色乃至黑色,
在包含所述(2)的氧氟化物的情况下,用L*a*b*色度表示,呈L*为25以上且不到91、a*为-3.0~+5.0、b*为-6.0~+8.0的白色或者灰色乃至黑色,
氧含量为2~13.5质量%。
2.根据权利要求1所述的喷镀被膜,其中,碳含量为0.004~0.15质量%。
3.喷镀用粉,其特征在于,是包括下述(1)和/或(2)、或者下述(1)和/或(2)与选自下述(3)~(6)中的1种或2种以上的混合物的喷镀用粉,
(1)选自Y、Gd、Yb、La中的1种以上的稀土元素的氟化物
(2)所述稀土元素的氧氟化物
(3)所述稀土元素的氧化物
(4)所述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氧化物
(5)所述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氟化物
(6)选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的氧化物含有0.004~2质量%的碳,并且用L*a*b*色度表示,呈L*为25以上且不到91、a*为-3.0~+5.0、b*为-6.0~+8.0的白色或者灰色乃至黑色,
氧含量为2~13.5质量%。
4.根据权利要求3所述的喷镀用粉,其为经烧成的喷镀用粉,碳含量为0.004~0.15质量%。
5.根据权利要求3所述的喷镀用粉,其为未烧成的喷镀用粉,碳含量为0.004~1.5质量%。
6.喷镀用粉的制造方法,是制造根据权利要求3~5中任一项所述的喷镀用粉的方法,其特征在于,将包括下述(1)和/或(2)、或者下述(1)和/或(2)与选自下述(3)~(6)中的1种或2种以上的混合物的呈白色的粉与以喷镀用粉的碳浓度成为0.004~2质量%的方式使用的碳源的浆料干燥、焙烧、烧成,得到用L*a*b*色度表示呈L*为25以上且不到91、a*为-3.0~+5.0、b*为-6.0~+8.0的白色或者灰色乃至黑色的喷镀用粉,
(1)选自Y、Gd、Yb、La中的1种以上的稀土元素的氟化物
(2)所述稀土元素的氧氟化物
(3)所述稀土元素的氧化物
(4)所述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氧化物
(5)所述稀土元素与选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的复合氟化物
(6)选自Al、Si、Zr、In中的1种或2种以上的金属的氧化物,
包括所述(1)和/或(2)、或者所述(1)和/或(2)与选自所述(3)~(6)中的1种或2种以上的混合物的呈白色的粉的氧含量为2~13.5质量%。
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C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
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