[发明专利]喷镀被膜、喷镀用粉、喷镀用粉的制造方法和喷镀被膜的制造方法

说明书

提供喷镀被膜，是包含稀土氟化物和/或稀土氧氟化物的喷镀被膜，含有0.01～2质量％的碳或者1～1000ppm的钛或钼，并且在不含氧氟化物的情况下，用L^*a^*b^*色度表示呈L^*为25～64、a^*为‑3.0～+5.0、b^*为‑4.0～+8.0的灰色乃至黑色，在包含氧氟化物的情况下，用L^*a^*b^*色度表示，呈L^*为25以上且不到91、a^*为‑3.0～+5.0、b^*为‑6.0～+8.0的白色或者灰色乃至黑色。如果将该被膜形成于耐等离子体构件，则部分的颜色的变化少，取出清洗时也不必再部分地实施难以进行的清洗，成为能够确实实现原本的长寿命的构件。

技术领域

本发明涉及包含稀土元素的氟化物、或者该稀土元素的氟化物和稀土元素的氧氟化物的喷镀被膜、用于得到该喷镀被膜的喷镀用粉、该喷镀用粉的制造方法和该喷镀被膜的制造方法。

背景技术

近年来，由于稀土氟化物在高温下比较稳定，因此为了通过在耐等离子体构件用途中使用稀土氟化物从而实现初期颗粒减少、构件的长寿命化，进行了形成了稀土氟化物喷镀被膜的构件的开发。例如为使用了卤素气体的等离子体蚀刻装置用构件。

但是，通常，作为稀土氟化物的代表的氟化钇呈白色，因此对于使用了卤素气体的等离子体蚀刻装置构件而言，在使用后抗蚀剂分解物的残渣附着，产生变色为茶色的部分。另外，由于等离子体蚀刻的影响，发生部分地从白色变色为黑色的现象(色中心引起的霍尔缺损等)，因此重点地清洗该部分，结果存在如下问题：原本具有耐等离子体性而能够长寿命化，却通过清洗而使寿命降低。应予说明，作为现有技术文献，可列举出下述专利文献1～6。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2004-100039号公报

专利文献2：日本特开2012-238894号公报

专利文献3：日本专利第3894313号公报

专利文献4：日本特开2014-010638号公报

专利文献5：日本专利第5396672号公报

专利文献6：日本特开2016-079258号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明鉴于上述实际情况而完成，目的在于提供在喷镀构件的使用后等部分的颜色的变化少的喷镀被膜、用于得到该喷镀被膜的喷镀用粉和该喷镀用粉、该喷镀被膜的制造方法。

用于解决课题的手段