[发明专利]用于小角度X射线散射测量的X射线变焦镜头

摘要

在本文中描述用于控制照射射束光点大小以达成对不同大小的计量目标的透射式小角度X射线散射测量T‑SAXS测量的方法及系统。X射线照射光学器件子系统包含：一或多个聚焦光学元件，其具有在固定位置处的物平面及像平面；及一或多个照射孔径或狭缝，其独立地控制放大率及射束发散度。在其它方面中，连同放大率及射束发散度一起控制照射源大小及形状。以此方式，独立地控制射束发散度及样品上的照射光点大小，同时维持恒定照射通量。

主权项

1.一种计量系统，其包括：照射子系统，其包含：x射线照射源，其经配置以产生x射线辐射，所述x射线照射源具有有限发射区域；聚焦光学元件，其具有一或多个反射表面，其中与在所述一或多个反射表面上的任一位置处的反射相关联的物平面的位置及像平面的位置为固定的；及射束选择子系统，其包含位于在所述x射线照射源与受测量样品之间的射束路径中的一或多个可移动狭缝或孔径，其中在垂直于所述照射子系统的中心轴线的方向上所述一或多个可移动狭缝或孔径相对于所述x射线辐射的位置控制所述照射子系统的光学放大率，且其中所述一或多个可移动狭缝或孔径的开口基于所述一或多个狭缝或孔径的所述位置而控制从所述聚焦光学元件反射且选自所述x射线辐射的x射线照射射束的发散度，所述x射线照射射束入射于所述受测量样品上；及x射线检测器，其经配置以检测与响应于所述入射x射线照射射束而从所述受测量样品散射的辐射量相关联的强度。