[发明专利]耐划痕膜及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201880014303.5 申请日: 2018-02-27
公开(公告)号: CN110337424B 公开(公告)日: 2022-06-24
发明(设计)人: C·A·保尔森 申请(专利权)人: 康宁股份有限公司
主分类号: C03C17/06 分类号: C03C17/06;C03C17/22;C03C17/23
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 徐鑫;项丹
地址: 美国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供的制品包含基材和沉积在基材的表面上的膜。膜包含:约45原子%至约50原子%的铝浓度,约26原子%至约46原子%的氮浓度,以及约4原子%至约24原子%的氧浓度。基材包括小于约0.0005米的弓形。
搜索关键词: 划痕 及其 制造 方法
【主权项】:
1.一种制品,其包括:基材;和布置在基材的表面上的膜,所述膜包含:约45原子%至约50原子%的铝组成;约26原子%至约46原子%的氮组成;和约4原子%至约24原子%的氧浓度,其中,基材包括小于约0.0005米的弓形。
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