[发明专利]具有改进的频率性能的测试头有效
| 申请号： | 201880013813.0 | 申请日： | 2018-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN110337592B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·克里帕;弗拉维奥·马焦尼 | 申请（专利权）人： | 泰克诺探头公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京商专永信知识产权代理事务所(普通合伙) 11400 | 代理人： | 方挺;黄谦 |
| 地址： | 意大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测试头(10)，测试头(10)适于校验集成在半导体晶片上的被测器件(16)的功能性，这样的测试头(10)包括：至少一个导引件(14，13，24)，该至少一个导引件(14，13，24)包括多个导引孔(14A，13A，24A)；以及容纳在所述多个导引孔(14A，13A，24A)中的第一组接触探针(20A)和第二组接触探针(20B)，每个这样的接触探针(20A，20B)都包括在第一端部(12A)和第二端部(12B)之间延伸的主体(12C)。适当地，至少一个导引件(14，13，24)至少包括导电部分(22，23，24)，该导电部分(22，23，24)电连接第一组接触探针(20A)，第一组接触探针(20A)在多个导引孔(14A，13A，24A)中滑动并且适于传送相同信号，并且第二组接触探针(20B)中的每个都包括由绝缘材料制成的涂层(21)。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改进 频率 性能 测试 | ||
【主权项】：
1.一种测试头(10)，适于校验集成在半导体晶片上的待测试器件(16)的功能性，所述测试头(10)包括：至少一个导引件(14，13，24)，所述至少一个导引件(14，13，24)设置有多个导引孔(14A，13A，24A)；以及容纳在所述多个导引孔(14A，13A，24A)中的至少第一组接触探针(20A)和第二组接触探针(20B)，所述接触探针(20A，20B)中的每个接触探针都包括在第一端部(12A)和第二端部(12B)之间延伸的主体(12C)，所述测试头(10)特征在于：所述至少一个导引件(14，13，24)至少包括导电部分(22，23，24)，所述导电部分(22，23，24)包括至少一组所述容纳导引孔(14A，13A，24A)，所述导电部分(22，23，24)电连接所述第一组接触探针(20A)，所述第一组接触探针(20A)在形成于所述导电部分中的所述容纳导引孔(14A，13A，24A)中滑动并且适于传送相同信号，以及所述第二组接触探针(20B)中的每一个包括涂层(21)，所述涂层(21)由绝缘材料制成并且与所述主体(12C)相对应地形成，以将所述第二组接触探针(20B)与所述导电部分(22，23，24)绝缘。
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