[发明专利]声表面波器件用基板以及伪声表面波元件有效
| 申请号： | 201880012405.3 | 申请日： | 2018-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN110383684B | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 宇都隆司 | 申请（专利权）人： | 京瓷株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 柯瑞京 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 由压电性材料构成，具备传播声表面波的第1面和位于第1面的相反侧的第2面。第2面的算术平均粗糙度(Ra)为0.2μm～0.4μm，并且满足算术平均粗糙度(Ra)与局部峰的平均间隔(S)的关系为Ra/S≥11、算术平均粗糙度(Ra)与凹凸的平均间隔(Sm)的关系为Ra/Sm≥6.7中的任一者。此外，第2面的最大高度(Rmax)为2.5μm～4.5μm，并且满足最大高度(Rmax)与局部峰的平均间隔(S)的关系为Rmax/S≥130、最大高度(Rmax)与凹凸的平均间隔(Sm)的关系为Rmax/Sm≥80中的任一者。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 器件 用基板 以及 元件 | ||
【主权项】：
1.一种声表面波器件用基板，由压电性材料构成，具备传播声表面波的第1面和位于该第1面的相反侧的第2面，该第2面的算术平均粗糙度Ra为0.2μm～0.4μm，并且算术平均粗糙度Ra与局部峰的平均间隔S的关系为Ra/S≥11。
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