[发明专利]气动销举升装置和气动举升缸

摘要

本发明涉及用于移动并定位待处理基片的销举升装置(10)，包括气动驱动缸。所述气动驱动缸具有包围第一柱形内容积(25)的柱形壳体(21)和设置用于沿运动轴线移动且包括第一活塞(22)和第一活塞杆(23)的第一活塞组件。第一活塞(22)界定第一内容积(25)。第一活塞杆(23)从柱形壳体(21)突出，第一活塞组件可通过第一内容积(25)的压力施加被移入装载位置。该装置具有至少一个在纵轴线(L)方向上可平行移动的支承销(11)，支承销(11)连接至第一活塞杆(23)，支承销(11)可以通过第一活塞组件的运动而移动。驱动缸具有包括第二活塞(32)和第二活塞杆(33)的第二活塞组件。第二活塞(32)界定第二内容积(35)。第二活塞组件设置用于与第一活塞组件同轴地移动。第二活塞杆(33)的一端面朝向第一活塞(22)。第一和第二活塞组件如此布置，第一活塞(22)和第二活塞杆(33)在装载位置中不接触，第一活塞(22)和第二活塞杆(33)在加工位置中接触。

主权项

1.一种销举升装置(10)，尤其是销举升器，用于待加工的基片(1)尤其是晶圆的运动和定位，该销举升装置具有：·气动驱动缸(6,50)，该气动驱动缸具有：ο柱形壳体(21)，该柱形壳体包围第一柱形内容积(25)，和ο第一活塞组件，该第一活塞组件沿着与纵轴线(L)平行或同轴地延伸的运动轴线活动安置且包括第一活塞(22)和第一活塞杆(23)，其中，·所述纵轴线(L)由所述第一柱形内容积(25)限定，·所述第一活塞(22)界定所述第一内容积(25)，·所述第一活塞杆(23)从所述柱形壳体(21)突出，并且·所述第一活塞组件能通过向所述第一内容积(25)施加压力而移动到移出的装载位置中，和·至少一个在所述纵轴线(L)的方向上至少基本平行或同轴地活动的支承销(7,11)，其中，ο所述支承销(7,11)连接至位于所述柱形壳体(21)外的所述第一活塞杆(23)的外端，ο所述支承销(7,11)能通过所述第一活塞组件的运动而线性运动，其特征是，·所述驱动缸(6,50)具有包括第二活塞(32)和接触面(33a)的第二活塞组件，其中，ο所述第二活塞(32)界定由所述柱形壳体(21)包围的第二内容积(35)，尤其是其中所述第一内容积和第二内容积被所述第二活塞(32)相互分隔开，ο所述第二活塞组件至少基本与所述第一活塞组件同轴地活动安置，并且ο所述第二活塞组件的所述接触面(33a)指向所述第一活塞(22)的方向，并且·所述第一活塞组件和所述第二活塞组件如此布置，使得ο所述第一活塞组件和所述接触面(33a)在装载位置中处于非接触状态，并且ο所述第一活塞组件和所述接触面(33a)在移入的加工位置中处于接触中。