[发明专利]成膜装置以及成膜物的制造方法有效
| 申请号： | 201880010245.9 | 申请日： | 2018-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN110268093B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 藤井博文 | 申请（专利权）人： | 株式会社神户制钢所 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/06;C23C14/24;C23C14/34;C23C14/50;F16J9/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;谭祐祥 |
| 地址： | 日本兵库*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够控制工件的周向的膜厚分布的成膜装置。成膜装置包括：工件旋转装置(5)，保持多个工件(100)并使其自转公转；具有出射面(3a)的靶材(3)，从出射面(3a)飞出用于对工件(100)的外周面进行成膜的材料的粒子；电源(4)，将用于粒子从靶材(3)飞出的电弧电流供应给靶材(3)；以及控制部(23)，以在自转的工件(100)的特定部分(102)朝向出射面(3a)的期间的至少一部分即特定期间，使电弧电流成为比基准输出高的输出的方式控制电源(4)。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 以及 成膜物 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种成膜装置，其特征在于包括：腔室；工件旋转装置，被收容在所述腔室的内部，具有至少一个保持部，所述保持部保持具有被进行成膜的外周面的至少一个工件并使该工件以指定的自转轴为中心自转；蒸发源，被安装于所述腔室的内部，且具有出射面，从所述出射面飞出用于对所述工件的外周面进行成膜的材料的粒子；电源，将用于所述粒子从所述蒸发源飞出的电运行输出供应给该蒸发源；以及控制部，以在所述工件旋转装置使所述工件自转的期间，且在所述工件的外周面中与其他部分相比应较厚地形成皮膜的特定部分朝向所述蒸发源的所述出射面的期间的至少一部分即特定期间，使所述电源供应给所述蒸发源的所述运行输出成为比基准输出高且比所述特定期间以外的期间的输出高的输出的方式控制该电源。
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