[发明专利]光延迟线、实现该线的低相干干涉仪、实现该干涉仪的装置和测量方法有效
| 申请号： | 201880010221.3 | 申请日： | 2018-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN110249198B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 阿兰·库特维尔 | 申请（专利权）人： | FOGALE纳米技术公司 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 谢攀;刘继富 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于在干涉仪中使用的光延迟线(LR)，包括旋转多边形(29)。该多边形(29)布置成调制来自被称为测量光束的同一光束并穿过所述多边形(29)分别导向所述第一和第二反射器(21、22)的第一和第二光束(Li1、Li2)的相应光路，以便通过所述第一和第二光束(Li1、Li2)的光路之间的差产生光学延迟。在集成低干涉干涉仪的光学测量装置中的使用。 | ||
| 搜索关键词： | 延迟线 实现 该线 相干 干涉仪 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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