[发明专利]用于可流动CVD的扩散器设计

摘要

本文所述的实施方式总体上涉及用于形成可流动膜的设备。在一个实施方式中，设备为扩散器，所述扩散器包括具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面的主体、形成在所述第一表面中的多个圆顶结构、形成在所述第二表面中的中心歧管以及耦接在所述中心歧管与所述多个圆顶结构中的相应的圆顶结构之间的多个管状导管，所述多个管状导管的至少一部分相对于所述第一表面的平面对角地定位。

主权项

1.一种扩散器，包括：主体，所述主体具有第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面；多个圆顶结构，所述多个圆顶结构形成在所述第一表面中，每个圆顶结构具有开口；中心歧管，所述中心歧管形成在所述第二表面中，所述中心歧管具有多个开口；以及多个管状导管，每个管状导管具有两个整体部分并且耦接在所述中心歧管中的一个开口与所述多个圆顶结构中的一个圆顶结构中的对应的开口之间，所述多个管状导管的至少一部分相对于所述第一表面的平面对角地定位。