[发明专利]树脂密封装置中的摄像方法以及树脂密封装置

摘要

提供在树脂密封装置的生产工序中，在发生产品的不良现象时，能够容易地确定其原因的树脂密封装置中的摄像方法以及树脂密封装置。半导体封装的树脂密封装置具备将作为基材的引线框架以及作为树脂密封用的树脂材料的树脂平板搬送至预定的位置的材料供给部件(1)。在材料供给部件(1)中，作为对引线框架进行摄像的摄像单元，设置有搬送部用照相机(13)以及导线检验用照相机(14)。在搬送部用照相机(13)中，关于由搬送部(111)搬送的各个引线框架，取得动画的摄像信息。

主权项

1.一种树脂密封装置中的摄像方法，该树脂密封装置具备：材料供给部件，将搭载有半导体元件的基材搬送至预定位置；以及装载机，将由该材料供给部件搬送的所述基材搬送至对该基材进行树脂密封的树脂密封部件，其中，具备在利用所述材料供给部件的所述基材的搬送路径以及利用所述装载机的该基材的搬送路径的至少一部分中，在向与该基材大致相同的方向并且以大致相同的速度活动的同时对该基材进行摄像的工序。