[发明专利]树脂密封装置中的摄像方法以及树脂密封装置

说明书

提供在树脂密封装置的生产工序中，在发生产品的不良现象时，能够容易地确定其原因的树脂密封装置中的摄像方法以及树脂密封装置。半导体封装的树脂密封装置具备将作为基材的引线框架以及作为树脂密封用的树脂材料的树脂平板搬送至预定的位置的材料供给部件(1)。在材料供给部件(1)中，作为对引线框架进行摄像的摄像单元，设置有搬送部用照相机(13)以及导线检验用照相机(14)。在搬送部用照相机(13)中，关于由搬送部(111)搬送的各个引线框架，取得动画的摄像信息。

技术领域

本发明涉及树脂密封装置中的摄像方法以及树脂密封装置。

背景技术

在通过树脂模制造半导体封装的树脂密封装置中，对搭载有半导体元件的基材进行树脂密封，经由多个部件进行直至作为产品收纳的各作业。

在构成该树脂密封装置的部件中，有供给基材和树脂材料的材料供给部件、将基材等搬送至树脂密封部件的装载机、以及进行基材的树脂密封的树脂密封部件。根据树脂密封装置的种类，设置对搬送到树脂密封部件之前的基材进行加热的预热部件。

另外，作为处置对基材进行树脂密封的成形品的部件，有进行成形品的搬送和模具的清扫的清洁器部件(卸载机)、去除残料、流道等不需要的部分的去浇口(degater)部件、以及收纳去除不需要的部分后的成形品的产品收纳部件

针对经由这些各部件中的作业而收纳的产品，进行确认是否满足要求的质量的检查。另外，在发生产品的不良现象时，为了确定其原因并进行对应，进行生产工序的管理。

作为管理这样的树脂密封装置中的生产工序的对策，提出了记录与生产工序有关的时间的信息、成形条件的如专利文献1记载的树脂密封装置。

专利文献1记载的树脂密封装置具备控制部、存储部、显示部、以及输入部。另外，树脂密封装置具备将与模具有关的状态、树脂密封装置内的其他状态(例如工作信息)检测为检测值的检测部。

另外，控制部将由检测部、输入部等检测、输入的值记录到存储部。例如，在该存储部中，记录成形的各工序所需的时间、进行该工序的时刻、进行模成形的次数、各成形时的成形条件等。

在该树脂密封装置中，将记录于存储部的信息用于包括模具的模具零件的管理。另外，能够将成形条件与成形品对应起来作为产品信息输出，从而能够容易地进行成形条件的修正。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-87648号公报

发明内容

然而，在专利文献1记载的树脂密封装置中，关于产生不良现象的产品，能够确认与用树脂密封装置成形的时间有关的历史信息、表示包括该产品的生产单位的批次编号的信息，但难以查明导致不良现象的原因。

即，未成为关于构成树脂密封装置的多个部件，能够确认导致产品的不良现象的异常的现象在哪个部件的作业中发生这样的点的装置。

因此，在产品的检查中不良现象明确的情况下，需要确认各部件的生产工序。其结果，有时在各部件的动作、状态的确认中花费大量的劳力和时间。

另外，有时在验证时无法再现导致产品的不良现象的部件的作业中的异常的现象。因此，有时直至在部件的作业中观察到发生异常的现象、或者、直至作业者得出未发生异常的现象的一应的判断，反复进行1个部件中的动作确认、基材的处理。

进而，搬送基材或者成形品的作业由于对各部件共同地进行，所以可能在任意部件中引起搬送中的异常的现象。其结果，发生异常的部件的确定变得更困难。

根据如以上的点，在利用树脂密封装置的生产工序中，为了迅速地对应产品的不良现象，强烈要求确保各个产品的可追溯性。