[发明专利]异物检测装置、异物检测方法和存储介质有效
| 申请号： | 201880007243.4 | 申请日： | 2018-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN110178018B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 林圣人;野口耕平;梶原大介;东广大 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/85 | 分类号： | G01N21/85;B29C59/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够高精度地检测在流路部流动的异物的技术。装置包括：流路部(15A～15K)，其构成要被供给到被处理体W的流体流动的流路(17A～17K)；激光照射部(51)，其用于以光路与流路部(15A～15K)中的流体的流动方向交叉的方式对该流路部(15A～15K)内照射激光；设置在从流路部(15A～15K)透射的光路上的受光元件(45A、45B)；检测部(6)，其用于基于从受光元件(45A、45B)输出的信号来检测流体中的异物；和滤光部(57)，其设置在受光元件(45A、45B)与流路部(15A～15K)之间的光路上，遮挡从光照射部(51)对流体照射光而产生的拉曼散射光，并且使瑞利散射光透射而去往受光元件(45A、45B)。 | ||
| 搜索关键词： | 异物 检测 装置 方法 存储 介质 | ||
【主权项】：
1.一种用于检测要被供给到被处理体的流体中的异物的异物检测装置，其特征在于，包括：流路部，其构成要被供给到所述被处理体的流体流动的流路；激光照射部，其用于以光路与所述流路部中的流体的流动方向交叉的方式对该流路部内照射激光；设置在从所述流路部透射的光路上的受光元件；检测部，其用于基于从所述受光元件输出的信号来检测所述流体中的异物；和滤光部，其设置在所述受光元件与所述流路部之间的光路上，能够遮挡从所述激光照射部对所述流体照射光而产生的拉曼散射光，并且使瑞利散射光透射而去往所述受光元件。
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